株式会社東北テクノアーチ 東北大学技術：窒化物コーティング法：T05-101
- 最終更新日：2024-03-08 15:00:15.0
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マイクロ波（周波数2.45GHz）照射により、大気中で、短時間で窒化チタン膜が作製可能
窒化チタンコーティング法としては、従来からスパッタリング法や基材にチタンイオンと窒素ガスイオンを照射し、基材上で反応させる方法、プラズマＣＶＤ法などがある。本発明は、これらの方法と比較すると空気中の窒素を窒素源として使用するものであり、雰囲気調整を必要としないことから、シンプルなプロセスにより低コストで窒化チタンのコーティングを行うことが出来き、高硬度で滑り特性・耐熱性特性を容易に付加できる。対象材料は金属以外にもセラミックスでも同様効果が得られる。また、コーティングをする材料としてはチタン以外にクロム、マンガンなどの窒化物をつくることができる。
基本情報東北大学技術：窒化物コーティング法：T05-101
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