高度な生産性と信頼性が求められる半導体製造工程においては、各種装置の柔軟なメンテナンス性や効率的な温度制御が不可欠であり、高性能で信頼性の高いクイックカップリングが要求されます。
ストーブリでは、テスト装置やチラー装置を含む、半導体製造工程の様々なアプリケーションにてお使い頂ける、各種の流体用ノンスピルクイックカップリングを取り揃えております。
ストーブリの技術力は冷却回路の確実なシール性を約束します。フラットフェイス構造により液だれを最小限に抑えたコネクターによって、全行程において安全な着脱を可能にします。
基本情報半導体製造装置・チラー冷却配管用カップリング【流体コネクタ】
お客様のご要望に合わせて、２タイプのソリューションを用意しています
■1対1のワンタッチダイレクト接続（手動接続）用モノカップリング
■複数回路の同時接続用ラックマウントカップリング（調芯補正付きブラインドメイト仕様）
【特長】
● 着脱時の液垂れがほとんど無く、作業者と作業環境を保護します
● 限られた空間でも操作しやすく、既存の設備へ容易に組み込めるコンパクトな設計
● 低温から高温まで、様々な流体においてご使用頂ける特殊品のご用意もございます
◇高温（～250℃）の高機能熱媒体
◇極低温（～マイナス100℃）冷媒
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| 価格情報 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ・半導体製造装置の冷却システム ・チラー、ポンプ、熱交換器などの配管接続 ・半導体試験装置の水冷回路 ・各種電子機器の冷却回路 |
詳細情報半導体製造装置・チラー冷却配管用カップリング【流体コネクタ】
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ステンレス製ノンスピルカップリング『MCB』
ノンスピル構造、オートマチック・ボールロックを備えた高性能カップリング
本体材質：SUS316L
シール材質：NBR、FKM、EPDM、FFKM、FMQ
口径：03mm、05mm、08mm、12mm、16mm
圧力範囲：50～100 bar（サイズにより異なる）
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ステンレス製ノンスピルカップリング『DAG』
ノンスピル構造、オートマチック・ボールロックを備えた高性能カップリング。
本体材質：SUS304
シール材質：EPDM
口径：03mm、06mm、09mm
圧力範囲：16 bar
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バイヨネット式ノンスピルカップリング『HCB』
ノンスピル構造、バイヨネットロックを備えた高性能カップリング。
本体材質：SUS316L
シール材質：NBR、FKM、EPDM、FFKM、FMQ
口径：03mm、05mm、08mm、12mm、16mm、20mm
圧力範囲：50～350 bar（サイズにより異なる）
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自動調芯ブラインドメイト仕様 ノンスピルカップリング『CGD』
本体材質：アルミニウム合金（硬質アルマイト処理）
シール材質：FKM、EPDM、FMQ
口径：03mm、05mm、08mm、12mm
圧力範囲：16 bar
アライメント補正：±1mm
※本体材質：ステンレス鋼製の『DDG』もございます
口径：03mm、06mm、15mm
カタログ半導体製造装置・チラー冷却配管用カップリング【流体コネクタ】
取扱企業半導体製造装置・チラー冷却配管用カップリング【流体コネクタ】
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● ロボット事業部： 産業用ロボットの輸入、販売及びアフターサービス。 小型の4軸スカラロボットや超高速搬送用途のファストピッカー、小型/軽量物から可搬重量190kgの重量物まで対応可能な6軸多関節ロボットなど多彩なラインナップ。クリーンルームや高湿度対応などの厳しい環境条件に対応する製品も取り揃えています。 ● 流体コネクタ事業部： 流体コネクタ（カップリング）の輸入、販売。 流体コネクタのリーディングカンパニーとして、効率性、安全性をベースに様々な産業界でのにニーズを取り込んだ専門性の高いカップリング、複数のコネクタを一括着脱するマルチカップリングシステム、ロボット用ツールチェンジャー、プラスチック産業向けの金型交換ソリューションを提供しています。 ● 電気コネクタ事業部： 電気コネクタの輸入、販売。 先進的なコンタクト技術（マルチラム）をベースとして、単一部品から複雑なシステムまで幅広くカバーする高度なソリューションを提供しています。また、太陽光発電用コネクタMC4はこの業界での実質的なスタンダードとして世界中で使用されています。
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