【分析事例】セラミックス表面における洗浄成分の分布評価一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

洗浄成分の分布の可視化や深さ方向の分布の評価が可能

セラミックスは日用品から電子部品まで幅広く利用されている無機化合物材料です。その表面状態は日用品や電子部品などの材料の性質・性能に大きく影響しています。そのため、セラミックスの機能を判断するうえで、表面状態を適切に評価することは重要です。
本資料ではZr酸化物からなるセラミックス表面のぬれ性に寄与する洗浄成分について、表面分布および深さ方向分布をTOF-SIMSで評価した事例を紹介します。
測定法：TOF-SIMS
製品分野：製造装置・部品
分析目的：定性・分布評価

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基本情報【分析事例】セラミックス表面における洗浄成分の分布評価

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用途／実績例	製造装置・部品、セラミックスの分析です。

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【分析事例】セラミックス表面における洗浄成分の分布評価_C0704

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