CHEMFISH TOKYO株式会社 テトラキス(ジメチルアミノ)ハフニウム
- 最終更新日:2024-01-11 11:09:33.0
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英語化学名:TETRAKIS(DIMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV)分子式: C8H24HfN4分子量:354.79
英語化学名: TETRAKIS(DIMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV)
化学名: テトラキス(ジメチルアミノ)ハフニウム
分子式: C8H24HfN4
分子量: 354.79
CAS番号:19782-68-4
基本情報テトラキス(ジメチルアミノ)ハフニウム
融点 :26-29 °C(lit.)
沸点 :85°C/0.1mm
比重(密度) :1.098 g/mL at 25 °C
闪点 :109 °F
外見 :結晶
色:無色~淡黄色
比重:1.40
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用途/実績例 | Used as precursor for atomic layer deposition of Hafnium Oxide nanolaminates, which are used as a reploacement for Silicon oxide in semiconductor devices. |
詳細情報テトラキス(ジメチルアミノ)ハフニウム
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融点 :26-29 °C(lit.)
沸点 :85°C/0.1mm
比重(密度) :1.098 g/mL at 25 °C
闪点 :109 °F
外見 :結晶
色:無色~淡黄色
比重:1.40
取扱企業テトラキス(ジメチルアミノ)ハフニウム
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