テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社 メタルシール採用事例：半導体製造用化学物質キャニスター
- 最終更新日：2024-06-21 14:59:29.0
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樹脂製やエラストマー製のシール材質が使えない物質に朗報！メタルシールを採用しヘリウムリークタイトを実現
当社の「HELICOFLEX デルタシール」が化学会社のキャニスター用
シールに採用された事例をご紹介いたします。
化学会社のキャニスター用シールの仕様は、真空と正圧の両方を
ヘリウムリークタイトできる信頼性と、耐久性に優れることなので、
樹脂製やエラストマー性の採用はできませんでした。
採用後は、ヘリウムリークタイトを実現し、通常よりも設計締付圧力が
低いことによりボルト荷重が下がり、スペースが限定されるキャニスター
カバーのボルト数低減につながりました。
【事例概要】
■課題
・化学物質をヘリウムリークタイトで繰り返し輸送したい
■結果
・ヘリウムリークタイトを実現
・設計締付圧力が低いことによりホルト荷重が下がり、
キャニスターカバーのボルト数を低減
・PFAS対策の一案としても
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基本情報メタルシール採用事例：半導体製造用化学物質キャニスター
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