チャンバー引き出しタイプにつきメンテナンスが容易
『4段乾燥炉チャンバータイプ』は、FPD基板上に印刷された塗膜を
基盤表面に(反塗布面側)より、加熱することでガラス基板を加熱
乾燥させる製品です。
基盤受渡しはピン昇降を使用、サーボモーター制御で3段階の
高さ調整が可能です。
ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
【仕様】
■温度性能：室温〜150度(ガラス表面温度)
■温度精度：表面温度±3度以内
■方式：マイカヒーター・分割制御
■ヒーター出力：AC220V 1φ 3kw
■電力：AC/380/50Hz 3φ 20KVA
■圧縮空気：0.5Mpa 100L/min
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基本情報4段乾燥炉チャンバータイプ
【用途】
■半導体製造装置関連、FPD製造装置関連
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
カタログ4段乾燥炉チャンバータイプ
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