ティックコーポレーション株式会社 超音波メガソニック洗浄装置（枚葉洗浄 / バス・タンク式洗浄）
- 最終更新日：2024-05-13 12:04:29.0
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超音波洗浄スプレーノズル
非接触単一基板の洗浄にはシングルノズル、デュアルノズル、トリプルチャネルのいずれか、および周波数の任意の組み合わせを備えた600kHz から最大9MHzまでのメガソニックノズルがございます。
このメガソニックノズルのトランスデューサーはメガソニックを生成し流体(純水など)を通してメガソニックを基盤の表面に送り洗浄します。
メガソニック浸水型トランスデューサー
周波数が400kHz/600kHz/1MHz/2MHzのメガソニック浸水型トランスデューサーです。
ステンレス製又はプラスチック製 (例：PP、PVDFまたはPFA)の密閉されたトランスデューサーを既存タンクの底部又は、側面に設置します。
4"、6"および8"の基板サイズの標準システムに加え、特注で浸水型トランスデューサーも可能です。
非常に順応性の高い構成によりメガソニックシステムをバス・タンク式洗浄の工程に使用することで費用対効果の向上を可能にします。
周波数は400kHz, 600kHz, 1MHz と2MHzをご用意しております。
基本情報超音波メガソニック洗浄装置（枚葉洗浄 / バス・タンク式洗浄）
各商品リーフレットを参考ください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | Sonosys（ソノシス） |
| 用途／実績例 | 半導体用ウェーハ、フォトマスク、MEMSなどの洗浄 |
カタログ超音波メガソニック洗浄装置（枚葉洗浄 / バス・タンク式洗浄）
取扱企業超音波メガソニック洗浄装置（枚葉洗浄 / バス・タンク式洗浄）
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・圧縮空気用エアーノズルの販売（マルチチャンネルジェット）（レヒラー社） ・タンク洗浄ノズル（レヒラー社） ・精密スプレーノズルの販売（レヒラー社） ・精密ミストセパレーター/ミストエリミネーター（デミスター）の販売（レヒラー社） ・ブロワー型エアーナイフシステムの販売【水切り/乾燥装置】（ソニック社） ・タンク乾燥機（ソニック） ・超音波スプレーノズルの販売（ソニア社） ・空気搬送、空気増幅器、ベンチレーターの販売（セコマック社（旧ベック社）） ・鋳造/塗装用エアレススプレーガンの販売（ジャーケル社） ・ガス切断装置（ガスカッター）（トーチカッティング装置）及び切断火口、切断吹管の販売（オキシリューション社 / エルトレーディング社） ・プラスチックコネクターの販売（ゲスマン社） ・各種ディスペンサー(自社製チュービングディスペンサーTIC型の販売)及び国内シリンジポンプ、消耗品の販売 ・ラテックス機械安定度テスター(旧Klaxon Signals Ltd., 旧Secomak社）の販売 ・工業用機械機器/機械工具の販売/精密機器の輸入販売
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