超音波洗浄装置（バス・タンク式洗浄） 4インチ基板用ジェネレーター (PVDF製）

超音波洗浄スプレーノズル
非接触単一基板の洗浄にはシングルノズル、デュアルノズル、トリプルチャネルのいずれか、および周波数の任意の組み合わせを備えた600kHz から最大9MHzまでのメガソニックノズルがございます。
このメガソニックノズルのトランスデューサーはメガソニックを生成し流体(純水など)を通してメガソニックを基盤の表面に送り洗浄します。

メガソニック浸水型トランスデューサー
周波数が400kHz/600kHz/1MHz/2MHzのメガソニック浸水型トランスデューサーです。　　　　
ステンレス製又はプラスチック製 (例：PP、PVDFまたはPFA)の密閉されたトランスデューサーを既存タンクの底部又は、側面に設置します。
4"、6"および8"の基板サイズの標準システムに加え、特注で浸水型トランスデューサーも可能です。
非常に順応性の高い構成によりメガソニックシステムをバス・タンク式洗浄の工程に使用することで費用対効果の向上を可能にします。
周波数は400kHz, 600kHz, 1MHz と2MHzをご用意しております。 （詳細を見る）

ピエゾセラミックの振動により超音波がノズルに伝わり、
液体膜を振動させ、きめ細かい粒子を形成、噴霧します。
最小流量10ml/分から最大流量100ml/分の液体まで幅広く対応しており、
全流量域での粒子径がほぼ一定です。

◆製品特徴◆
・液体を加圧せずに少ない電力で供給できるため、省エネ
・流量に関係なく均一霧化
・全流量域での粒子径がほぼ一定
・目詰まりしにくく、作業上の安全性が高い
・粒子の自己速度が遅いため、塗着効率が良い
・標準仕様の最大流量は100ml/分
・操作周波数は20～130kHz（機種により異なります）
・ザウター粒子径は11.8～42μm（機種により異なります）

◆アクセサリー◆
空気搬送治具を使うことで、塗布された微粒子（液滴）の噴霧形状を
自由自在に変える事が可能

◆送液ポンプ◆
シリンジポンプ等を使って送液することで、精密制御が可能

≪注目ポイント≫
デモ機の貸出も可能ですので、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）