プライアー・サイエンティフィック株式会社 ウェーハ観察用ピエゾZ軸ステージ『WP-Z-120A』

300mmウェーハ観察に対応 ピエゾ駆動電動Z軸ステージ

WP-Z-120Aは、ミリ秒の駆動速度を持ち、高速での観察・処理が必要な用途に最適なZステージです。
300mmウェーハ観察を想定し、耐荷重は8kg。重量のあるウェーハチャックをのせることもできます。
より速く、より正確にピエゾを制御することを追求し続けてきたクイーンズゲイトだからこそ開発できる高精度なピエゾ製品。
120ミクロンの動作範囲全体に渡って、スムーズで安定した動作と超高速での駆動・収束を両立します。

基本情報ウェーハ観察用ピエゾZ軸ステージ『WP-Z-120A』

■動作範囲:120μm
■耐荷重:8kg
■カスタム対応可(真空対応、超高真空対応、高耐荷重、長動作など)

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

カタログウェーハ観察用ピエゾZ軸ステージ『WP-Z-120A』

取扱企業ウェーハ観察用ピエゾZ軸ステージ『WP-Z-120A』

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プライアー・サイエンティフィック株式会社

■イギリス本社製造の、電動ステージ等、顕微鏡周辺機器、科学機器、装備品の輸入販売

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