プライアー・サイエンティフィック株式会社 ウェーハ観察用ピエゾZ軸ステージ『WP-Z-120A』
- 最終更新日:2024-06-11 17:08:14.0
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300mmウェーハ観察に対応 ピエゾ駆動電動Z軸ステージ
WP-Z-120Aは、ミリ秒の駆動速度を持ち、高速での観察・処理が必要な用途に最適なZステージです。
300mmウェーハ観察を想定し、耐荷重は8kg。重量のあるウェーハチャックをのせることもできます。
より速く、より正確にピエゾを制御することを追求し続けてきたクイーンズゲイトだからこそ開発できる高精度なピエゾ製品。
120ミクロンの動作範囲全体に渡って、スムーズで安定した動作と超高速での駆動・収束を両立します。
基本情報ウェーハ観察用ピエゾZ軸ステージ『WP-Z-120A』
■動作範囲:120μm
■耐荷重:8kg
■カスタム対応可(真空対応、超高真空対応、高耐荷重、長動作など)
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
カタログウェーハ観察用ピエゾZ軸ステージ『WP-Z-120A』
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