ウェハ観察用ピエゾZ軸ステージ WP-Z-120A

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ウェーハ観察用ピエゾZ軸ステージ『WP-Z-120A』

WP-Z-120Aは、ミリ秒の駆動速度を持ち、高速での観察・処理が必要な用途に最適なZステージです。
300mmウェーハ観察を想定し、耐荷重は8kg。重量のあるウェーハチャックをのせることもできます。
より速く、より正確にピエゾを制御することを追求し続けてきたクイーンズゲイトだからこそ開発できる高精度なピエゾ製品。
120ミクロンの動作範囲全体に渡って、スムーズで安定した動作と超高速での駆動・収束を両立します。（詳細を見る）

取扱会社ウェハ観察用ピエゾZ軸ステージ WP-Z-120A

プライアー・サイエンティフィック株式会社

■イギリス本社製造の、電動ステージ等、顕微鏡周辺機器、科学機器、装備品の輸入販売

公式サイト

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