ウェハ観察用ピエゾZ軸ステージ WP-Z-120A

WP-Z-120Aは、ミリ秒の駆動速度を持ち、高速での観察・処理が必要な用途に最適なZステージです。
300mmウェーハ観察を想定し、耐荷重は8kg。重量のあるウェーハチャックをのせることもできます。
より速く、より正確にピエゾを制御することを追求し続けてきたクイーンズゲイトだからこそ開発できる高精度なピエゾ製品。
120ミクロンの動作範囲全体に渡って、スムーズで安定した動作と超高速での駆動・収束を両立します。 （詳細を見る）