東北大学技術：熱電半導体の熱電能向上方法：K23-013 東北テクノアーチ

簡単な処理で、半導体の熱電能が向上

熱電効果は熱電発電・熱電冷却など幅広い分野で応用が進んでいるが、産業利用には高い熱電性能が求められており、新たな熱電材料の開
発に向けた研究が活発に行われている。
従来、半導体薄膜において、エレクトロマイグレーション（EM）による熱電効果の影響について研究が行われてきた。また、金属配線においては保護膜の有無によってEM導入後の応力状態が変化することが知られている。
上記の知見から、保護膜を有する金属配線に、EMを導入することで熱電性能が向上することを見出した。EMの導入により金属原子が移動し、さらに保護膜で金属配線を被覆しEMを導入することで、配線内部に応力の分布が生じ、高い熱電性能を有する熱電半導体の製造が可能となった。

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基本情報東北大学技術：熱電半導体の熱電能向上方法：K23-013

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