CHEMFISH TOKYO株式会社 三フッ化塩素 CIF3 7990-91-2
- 最終更新日:2024-08-13 15:01:20.0
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三フッ化塩素 CIF3 7990-91-2
三フッ化塩素(CIF3)は、GWP値ゼロのグリーンで効率的な環境に優しいガスであり、チッププロセスにおける理想的なLPCVDクリーニングガスです。
基本情報三フッ化塩素 CIF3 7990-91-2
三フッ化塩素(CIF3)は、GWP値ゼロのグリーンで効率的な環境に優しいガスであり、チッププロセスにおける理想的なLPCVDクリーニングガスです。
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型番・ブランド名 | CHEMFISH |
用途/実績例 | v |
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