Particle-PLUS マイクロトレンチ上での薄膜生成の解析ウェーブフロント

マクロとミクロの両スケールから成膜プロセスを解析可能

株式会社ウェーブフロントが自社開発した、粒子法プラズマ解析ソフト
ウェア「Particle-PLUS」は基板上に微小溝(マイクロトレンチ)が
あるような場合でもマグネトロンスパッタリングの解析ができます。

「Particle-PLUS」は微小溝を含む基盤へのスパッタリング装置全体についてのマクロスケールと微小溝の部分に関するミクロスケールの両方を計算し、成膜プロセスをシミュレーションすることが可能です！

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

関連リンク - https://www.wavefront.co.jp/CAE/particle-plus/

基本情報Particle-PLUS マイクロトレンチ上での薄膜生成の解析

【仕様】
■製品名：Particle-PLUS
■価格帯：お問い合わせください
■納期：お問い合わせください

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
用途／実績例	【計算可能な事例】 ■マグネトロンスパッタ ■PVD、プラズマCVD ■容量結合プラズマ(CCP) ■電気泳動　等【特長】 ■低圧プラズマ解析を得意とする ■軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせて、装置全体の　シミュレーションを行わずに高速に結果を得ることができる ■流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションが得意 ■2D(2次元)、3D(3次元)にそれぞれ対応し、複雑なモデルでも効率良く解析可能 ■自社開発ソフトの強みとして、お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

カタログParticle-PLUS マイクロトレンチ上での薄膜生成の解析

【事例】Particle-PLUS マイクロトレンチ上での薄膜生成の解析

PDFダウンロード

取扱企業Particle-PLUS マイクロトレンチ上での薄膜生成の解析

株式会社ウェーブフロント本社

株式会社ウェーブフロントの企業理念は、日本の製造業における研究開発～設計～製造～メンテナンスまでのプロセスをシミュレーションという観点からサポートし、企業活動の高度化・効率化に寄与することです。弊社ではこの企業理念の下、 CAEと設備資産管理、信頼性に関するソリューションを提供しています。 CAEの分野では流体解析からマルチフィジックス解析まで各種シミュレーションソフトウェアとこれに関連するプリプロセッサ・ポストプロセッサを、設備資産管理の分野では、各種の装置・設備のメンテナンス管理ソフトウェアを、機能安全・信頼性の分野では故障率のコンサルティングからツールの提供まで一貫したサービスを行っています。