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最終更新日:2024-10-02 08:25:17.0

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【事例】Particle-PLUS マイクロトレンチ上での薄膜生成の解析

Particle-PLUS マイクロトレンチ上での薄膜生成の解析

Particle-PLUS マイクロトレンチ上での薄膜生成の解析 製品画像

株式会社ウェーブフロントが自社開発した、粒子法プラズマ解析ソフト
ウェア「Particle-PLUS」は基板上に微小溝(マイクロトレンチ)が
あるような場合でもマグネトロンスパッタリングの解析ができます。

「Particle-PLUS」は微小溝を含む基盤へのスパッタリング装置全体についてのマクロスケールと微小溝の部分に関するミクロスケールの両方を計算し、成膜プロセスをシミュレーションすることが可能です!


※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 (詳細を見る

取扱会社 【事例】Particle-PLUS マイクロトレンチ上での薄膜生成の解析

株式会社ウェーブフロント 本社

株式会社ウェーブフロントの企業理念は、 日本の製造業における研究開発~設計~製造~メンテナンスまでのプロセスをシミュレーションという観点からサポートし、 企業活動の高度化・効率化に寄与することです。 弊社ではこの企業理念の下、 CAEと設備資産管理、 信頼性に関するソリューションを提供しています。 CAEの分野では流体解析からマルチフィジックス解析まで各種シミュレーションソフトウェアと これに関連するプリプロセッサ・ポストプロセッサを、設備資産管理の分野では、各種の装置・設備のメンテナンス管理ソフトウェアを、機能安全・信頼性の分野では故障率のコンサルティングからツールの提供まで一貫したサービスを行っています。

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