透明素材にも対応する高精度検査装置
微分干渉顕微鏡を搭載した表面欠陥検査装置で
透明体材料にも適用しております。
全面検査による欠陥マップ出力や検出した欠陥の
顕微鏡観察が可能な装置です。
■装置の特長
・独自の画像処理技術による欠陥抽出・弁別機能
・欠陥を観察しながら高精度なケガキが可能
・他装置で検査したウェハに対し、欠陥座標を元に
観察、欠陥アルバムの作成が可能。
・結晶欠陥の検出機能を開発中
基本情報ウェハ表面欠陥検査装置（画像式）
【検出】
方 式： 微分干渉顕微鏡を用いた画像解析方式
検出サイズ： 0.3um（対物レンズ10倍使用時）
【対象基板】
種 類： 透明体を含む各種基板
サ イ ズ： 4inch 、6inch、8inch、別途相談に応じます
【装置サイズ】
外形寸法 ： W1,700 x D1,000 x H1,935 (mm)
質 量： 約800kg
| 価格情報 | 詳しくはお問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | K-IM-G100 |
| 用途／実績例 | 詳しくはお問い合わせください |
カタログウェハ表面欠陥検査装置（画像式）
取扱企業ウェハ表面欠陥検査装置（画像式）
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