株式会社クボタ計装
最終更新日：2024-10-23 16:11:01.0
ウェハ表面欠陥検査装置（画像式）_K-IM-G100
ウェハ表面欠陥検査装置（画像式）
微分干渉顕微鏡を搭載した表面欠陥検査装置で
透明体材料にも適用しております。
全面検査による欠陥マップ出力や検出した欠陥の
顕微鏡観察が可能な装置です。
■装置の特長
・独自の画像処理技術による欠陥抽出・弁別機能
・欠陥を観察しながら高精度なケガキが可能
・他装置で検査したウェハに対し、欠陥座標を元に
観察、欠陥アルバムの作成が可能。
・結晶欠陥の検出機能を開発中 （詳細を見る）
取扱会社 ウェハ表面欠陥検査装置（画像式）_K-IM-G100
クボタは、ロードセル（荷重センサ）を基幹技術に80余年におよぶ計量・計測の経験を生かした製品群を提供しております。 【取扱製品】 ・デジタルロードセル ・LPG充填シリーズ ・台はかりシリーズ ・指示計 ・トラックスケールシリーズ ・粉粒体機器 ・防爆はかりシリーズ ・廃棄物計量システム ・ホイストスケール（吊りはかり）
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