エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部マクミラン　超高純度用　薬液流量センサＵ７０１／７０２シリーズ

最終更新日：2017-10-30 15:47:30.0
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薬液流量センサＵ７０１／７０２／７０５／７０６シリーズ低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から〜５０Ｌ／ｍｉｎのまで測定

この製品シリーズは低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から〜５０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで測定できるセンサです。ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。接続はフレアー継手を採用し流体がネジ部に入り込まないよう考慮されています。Ｕ７０５／７０６についてはオプションでＳｕｐｅｒ３００シリーズ（日本ピラー適合）に変更することも可能です。電気ケーブル長、電源や出力をいくつかのオプションから選択できるので、各種用途に利用しやすくなっています。

基本情報マクミラン　超高純度用　薬液流量センサＵ７０１／７０２シリーズ

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型番・ブランド名	モデルＵ７０１／７０２／７０５／７０６
用途／実績例	Ｕ７０１／７０２はＵ字型の流路設計の特徴を持ち片面での配管、省スペースのデザインＵ７０５／７０６はストレートタイプの流路設計接液部材質はＰＴＦＥ