小形流量コントローララピフロー（Ｒ）FCMシリーズＣＫＤ

水素、ヘリウムに対応した小形流量コントローラ

流量センサ機能・比例制御機能・バルブ機能をユニット化し、必要な流量のコントロールをする機器です。
IO-Linkにも対応し、工場の更なるIoT化に貢献します。

【特　長】
　・シリンコンマイクロマシニングを応用した白金センサチップ採用で
　　0.5secの高速制御が可能
　・デジタル表示器搭載で制御状態が一目で確認できます
　・高信頼の流量制御特性（再現性；±1％FS／精度；±3％FS）
　・空気、窒素、アルゴン、酸素、メタン、プロパンと多種流体に対応
　・RoHS指令に対応
　・パラレル入力タイプを標準で用意

CKD商品ページ「FCMシリーズ」

基本情報小形流量コントローララピフロー（Ｒ）FCMシリーズ

流量センサ機能・比例制御機能・バルブ機能をユニット化し、必要な流量のコントロールをする機器です。
IO-Linkにも対応し、工場の更なるIoT化に貢献します。

【適応流体・流量範囲】
空気、窒素：0.015~50ℓ/min
アルゴン：0.015~50ℓ/min
酸素、都市ガス、メタン、プロパン：0.015~10ℓ/min
水素、ヘリウム：0.06~20ℓ/min

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型番・ブランド名	FCM
用途／実績例	ワイヤーボンディング、ガラス浮上搬送、食品充填包装、パージガス流量管理、バーナー火力制御管理、溶接用アルゴンガス流量管理など