水素、ヘリウムに対応した小形流量コントローラ
流量センサ機能・比例制御機能・バルブ機能をユニット化し、必要な流量のコントロールをする機器です。
IO-Linkにも対応し、工場の更なるIoT化に貢献します。
【特 長】
・シリンコンマイクロマシニングを応用した白金センサチップ採用で
0.5secの高速制御が可能
・デジタル表示器搭載で制御状態が一目で確認できます
・高信頼の流量制御特性（再現性；±1％FS／精度；±3％FS）
・空気、窒素、アルゴン、酸素、メタン、プロパンと多種流体に対応
・RoHS指令に対応
・パラレル入力タイプを標準で用意
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基本情報小形流量コントローラ ラピフロー（Ｒ）FCMシリーズ
流量センサ機能・比例制御機能・バルブ機能をユニット化し、必要な流量のコントロールをする機器です。
IO-Linkにも対応し、工場の更なるIoT化に貢献します。
【適応流体・流量範囲】
空気、窒素：0.015~50ℓ/min
アルゴン：0.015~50ℓ/min
酸素、都市ガス、メタン、プロパン：0.015~10ℓ/min
水素、ヘリウム：0.06~20ℓ/min
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | FCM |
| 用途／実績例 | ワイヤーボンディング、ガラス浮上搬送、食品充填包装、パージガス流量管理、バーナー火力制御管理、溶接用アルゴンガス流量管理など |
詳細情報小形流量コントローラ ラピフロー（Ｒ）FCMシリーズ
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【システム異常検知（予知保全）】
センサ・電磁比例弁の劣化を検知する自己検知に加え、周辺システムも含めた異常を検知します。IO-Linkで警告信号の出力が可能。
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【制御状態が一目でわかるデジタル表示器搭載】
流量値を3桁でデジタル表示。
エラー表示の他、出力状態（スイッチ出力ON-OFF）を表示。
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【0.5秒の高速制御】
シリコンマイクロマシニングを応用した白金センサチップの採用で、0.5secの高速制御が可能。
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【RS-485通信追加】
産業用ネットワーク通信として信頼性の高いRS-485に対応。
【IO-Link対応】
IO-Link通信によってデータ収集に加えて上位からの遠隔操作が可能。
カタログ小形流量コントローラ ラピフロー（Ｒ）FCMシリーズ
取扱企業小形流量コントローラ ラピフロー（Ｒ）FCMシリーズ
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