操　Components Report　～「様々な流体の制御」にこだわります～CC-1143-3

◆圧力の[現在値]と[設定値]を同時に確認できるツイン表示や
　３色表示、設定内容コピー機能３つのモード設定など従来に
　ない使い易さと高機能を満載したデジタル圧力センサ。

■特徴
【2画面表示によるダイレクト設定】
現在圧力をメイン画面、設定圧力をサブ画面に表示。
現在圧力を見ながらサブ画面の設定圧力の変更が可能。

【低消費電力】
従来品より、通常時で14％の電力削減。エコモードを使うと最大で50％の削減が可能。

【コピー機能】
複数使用時にマスタ1つを設定すると、残りはコピー機能で設定をコピー可能。工数低減と設定ミスを防止。 （詳細を見る）

受圧部にダイアフラム構造を採用し、安定性に優れ、クーラント液はもちろんのこと、各種産業機械の水圧、油圧などの液圧確認が可能です （詳細を見る）

◆圧力の[現在値]と[設定値]を同時に確認できるツイン表示や
　３色表示、設定内容コピー機能３つのモード設定など従来に
　ない使い易さと高機能を満載したデジタル圧力センサ。

【特　長】
　・２種類の圧力レンジ（R01：-100.0〜100.0kPa、
　　R10：-0.100〜1.000Mpa）で汎用用途をカバーします。
　・国外専用機種を用意しました（単位切替機能付＋配管
　　ポートR1/8又はNPT1/8又はG1/8のタイプ）
　・標準タイプ(２点出力)と高機能タイプ(１点出力＋
　　アナログ電圧出力又は入力)を用意し多用途に対応可能。
　・圧力の[現在値]と[設定値]を同時に確認できるツイン
　　表示で視認性がアップします。
　・３色デジタル表示（赤色・緑色・橙色）で視認性がアップ
　　します。
　・ボリューム式センサと同感覚でのダイレクト設定で簡単
　　設定できます。
　
　・接ガス部禁油タイプ（PPX-P12）
　　接ガス部の禁油処理をしています。半導体、医療などグリースを嫌
　　う用途に最適です
　 （詳細を見る）

【特長】
■かんたん流量調整：0.4〜250L/minと幅広い流量レンジに対応
■水温測定機能：水温センサを別途設置する必要が無く、設置スペース、配線工数を削減
■IO-Link対応：パラメータやイベントデータの伝送可能
■半導体製造装置の冷却・温度管理として、冷却水の定量的な管理に！
■ATEX指令に対応可能です。仕様詳細はカタログを確認ください

 （詳細を見る）

小形流量センサ「ラピフロー(R)　FSM3シリーズ」は、多様に、高性能に、使いやすく設計された小型の流量センサです。

【特長】
■耐環境仕様(IP65)追加　NEW!
■樹脂ボディタイプ、ステンレスボディタイプをラインナップ
■高精度・高応答
■IO-Linkで工場全体をオートメーション化

※サイズ、ラインナップ、詳細はダウンロードよりPDFをご覧ください。 （詳細を見る）

流量センサ機能・比例制御機能・バルブ機能をユニット化し、必要な流量のコントロールをする機器です。
IO-Linkにも対応し、工場の更なるIoT化に貢献します。

【特　長】
　・シリンコンマイクロマシニングを応用した白金センサチップ採用で
　　0.5secの高速制御が可能
　・デジタル表示器搭載で制御状態が一目で確認できます
　・高信頼の流量制御特性（再現性；±1％FS／精度；±3％FS）
　・空気、窒素、アルゴン、酸素、メタン、プロパンと多種流体に対応
　・RoHS指令に対応
　・パラレル入力タイプを標準で用意 （詳細を見る）

【省スペース】
コンパクト設計で装置、システムの省スペース化に貢献。

【出力バリエーション】
アナログ出力1点のSタイプ、スイッチ出力2点のMタイプ、アナログ1点・スイッチ1点のCタイプをラインナップし様々な用途に対応。

【ユニット対応】水集積ユニットWXUに搭載に対応、水配管のスペース、設計、配管工数の大幅削減が可能 （詳細を見る）

薬液槽の液面検出に適した”エア方式”で
薬液雰囲気による腐食や引火の心配がなく、半導体製造、化学プロセスに最適です

■ 腐食・防爆対策が容易
接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できます。

■設置コストを削減
蒸気、飛沫、雫、温度、薬液（刺激臭、引火性、腐食性）の影響を受けないため、
対策費用が抑えらえれ、設置も簡単です。

■ コンパクト
槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません

■メンテナンスフリー
常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。 （詳細を見る）