50kPa以下での比例制御を0kPaから高精度に自在にコントロールできる小形/低圧/電空レギュレータです。
■特徴
【低圧コントロール】
0~50kPaまでの低圧制御が可能。
【高精度コントロール】
ヒステリシス：0.5%F.S.
分解能：0.2%F.S.
【クリーン】
流路部ノングリス
【保護構造IP64】
電気配線：M12コネクタ
■事例
研磨力コントロールやCMP装置など
基本情報CKD 低圧電空レギュレータ EVLシリーズ
詳しくはCKDホームページをご覧ください
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | EVLシリーズ |
| 用途／実績例 | ＣＭＰ装置、研磨力コントロール |
詳細情報CKD 低圧電空レギュレータ EVLシリーズ
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使用事例１
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使用事例２
カタログCKD 低圧電空レギュレータ EVLシリーズ
取扱企業CKD 低圧電空レギュレータ EVLシリーズ
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