アレイマジャパン株式会社 スーパータル シングルウェハーリアクター

電子・半導体業界用!1枚のウェハー製造用ヒーターモジュール

従来のシリコンデバイス用途のみならず、シリコン系パワーデバイス(IGBT)の熱処理用途や化合物半導体(GaN、SiC)のアニール処理、エピ成長装置としてご検討下さい。

基本情報スーパータル シングルウェハーリアクター

半導体ウェハー枚葉熱処理用ヒーターモジュール

□■特徴■□

■耐熱性に優れた断熱材と二珪化モリブデンヒーターの一体型モジュール
■小スペースに大容量の出力が可能
■精密な温度制御が可能

■タイプ:SWR
■直径(インチ):4・5・6・8・10
■設置:縦もしくは横置き
■最高発熱体温度:1600度
■出力:0.9W〜5.6kW

■少量からでも対応致します。詳細は、お問い合わせ下さい。

価格情報 -
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 スーパータル SWR
用途/実績例 半導体装置メーカー殿向けの枚葉熱処理装置として多くの実績を有しております。

取扱企業スーパータル シングルウェハーリアクター

logo.jpg

アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー

1931年創業以来、電気抵抗加熱ヒーターのソリューションを提供しております。 ヒーターのご提供のみならず、新たな商品の共同開発、技術サポート、最適なソリューションのご提案等を通じ、熱に関して多面的にお客様をサポートしております。 □低温域-1100℃ (カンタル線、ニクロム線) □中温域-1400℃ (炭化珪素発熱体(SiC)) □高温域-1850℃ (カンタルスーパー(MoSi2)) のほぼすべての温度領域をカバーしており、これらの商品をベースに、様々なヒーティングシステムをご提供いたします。

スーパータル シングルウェハーリアクターへのお問い合わせ

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度必須
ご要望必須

  • あと文字入力できます。

目的必須
添付資料
お問い合わせ内容

あと文字入力できます。

【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。

はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら

イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー