スーパータル　シングルウェハーリアクターアレイマジャパン

電子・半導体業界用！1枚のウェハー製造用ヒーターモジュール

従来のシリコンデバイス用途のみならず、シリコン系パワーデバイス(IGBT)の熱処理用途や化合物半導体(GaN、SiC)のアニール処理、エピ成長装置としてご検討下さい。

基本情報スーパータル　シングルウェハーリアクター

半導体ウェハー枚葉熱処理用ヒーターモジュール

□■特徴■□

■耐熱性に優れた断熱材と二珪化モリブデンヒーターの一体型モジュール
■小スペースに大容量の出力が可能
■精密な温度制御が可能

■タイプ：SWR
■直径（インチ）：4・5・6・8・10
■設置：縦もしくは横置き
■最高発熱体温度：1600度
■出力：0.9W〜5.6ｋW

■少量からでも対応致します。詳細は、お問い合わせ下さい。

価格情報	-
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	スーパータル　SWR
用途／実績例	半導体装置メーカー殿向けの枚葉熱処理装置として多くの実績を有しております。

お問い合わせ

取扱企業スーパータル　シングルウェハーリアクター

アレイマジャパン株式会社カンタルカンパニー

1931年創業以来、電気抵抗加熱ヒーターのソリューションを提供しております。ヒーターのご提供のみならず、新たな商品の共同開発、技術サポート、最適なソリューションのご提案等を通じ、熱に関して多面的にお客様をサポートしております。 □低温域-1100℃　（カンタル線、ニクロム線） □中温域-1400℃　（炭化珪素発熱体（SiC)） □高温域-1850℃　（カンタルスーパー（MoSi2)）のほぼすべての温度領域をカバーしており、これらの商品をベースに、様々なヒーティングシステムをご提供いたします。