アレイマジャパン株式会社 半導体用発熱体

基本情報半導体用発熱体

横型、縦型の既存半導体製造装置に使われているほとんどすべての
炉に対して提供が可能です。
またヒーター設計に関して数々の特許を有しており、長寿命化、均熱化
への提案もさせて頂きます。

□■ラインナップ■□

■ヘビーゲージヒーター（太線）
主に、横型・縦型の拡散プロセスにて用いられるヒーターです。
独自技術のインターロッキングシステム、及び新材料粉末焼結ヒーター(APM-HP)
の採用により、長寿命が期待できるヒーターです。


■ミディアムゲージヒーター（中細線）／ライトゲージヒーター（細線）
ローマスヒーターで　中・低温度域にて優れた温度の均一性を確保し、
急速昇温できるような電力密度が高い

■急速昇降温システム(FastCool)
弊社所有の強制空冷システムを採用したヒーターシステムです。
循環時間の短縮とQSS問題解決に最適の解決策を提供いたします。

■少量からでも対応致します。詳細は、お問い合わせ下さい。

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取扱企業半導体用発熱体

アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー

1931年創業以来、電気抵抗加熱ヒーターのソリューションを提供しております。 ヒーターのご提供のみならず、新たな商品の共同開発、技術サポート、最適なソリューションのご提案等を通じ、熱に関して多面的にお客様をサポートしております。 □低温域-1100℃　（カンタル線、ニクロム線） □中温域-1400℃　（炭化珪素発熱体（SiC)） □高温域-1850℃　（カンタルスーパー（MoSi2)） のほぼすべての温度領域をカバーしており、これらの商品をベースに、様々なヒーティングシステムをご提供いたします。

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