シグマ光機株式会社 5nmフィードバックステージ FS-1020SPX/XY

【エンコーダ内蔵】分解能・位置決め再現性・位置保持性が高い5nm分解能位置決めステージ!

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。

『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。

自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、

位置決め後の位置保持性を備えております。

(*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み合わせ

基本情報5nmフィードバックステージ FS-1020SPX/XY

最小分解能:5nm
最大移動速度:5mm/sec(FC-611使用時)
ストローク:20mm
テーブルサイズ:□60mm
対応コントローラ:FC-611

■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■

価格情報 -
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 FS-1020SPX / FS-1020SPXY
用途/実績例 フィードバックステージシステムは近年様々な分野で使用されています。

代表的な使用分野は情報通信関連・光関連・半導体関連・バイオ関連などになります。
例)MEMSの検査時の位置決め
  光学系のディレイステージ
  顕微鏡ステージ

カタログ5nmフィードバックステージ FS-1020SPX/XY

取扱企業5nmフィードバックステージ FS-1020SPX/XY

シグマ光機.png

シグマ光機株式会社

■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機(集光光学系)、レーザ加工機(すきゃにん光学系)、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ

5nmフィードバックステージ FS-1020SPX/XYへのお問い合わせ

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度必須
ご要望必須

  • あと文字入力できます。

目的必須
添付資料
お問い合わせ内容

あと文字入力できます。

【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。

はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら

イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

シグマ光機株式会社