【エンコーダ内蔵】分解能・位置決め再現性・位置保持性が高い5nm分解能位置決めステージ!
光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。
『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。
自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、
位置決め後の位置保持性を備えております。
(*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み合わせ
基本情報5nmフィードバックステージ FS-1020SPX/XY
最小分解能:5nm
最大移動速度:5mm/sec(FC-611使用時)
ストローク:20mm
テーブルサイズ:□60mm
対応コントローラ:FC-611
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価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | FS-1020SPX / FS-1020SPXY |
用途/実績例 | フィードバックステージシステムは近年様々な分野で使用されています。 代表的な使用分野は情報通信関連・光関連・半導体関連・バイオ関連などになります。 例)MEMSの検査時の位置決め 光学系のディレイステージ 顕微鏡ステージ |
カタログ5nmフィードバックステージ FS-1020SPX/XY
取扱企業5nmフィードバックステージ FS-1020SPX/XY
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