シグマ光機株式会社 5nmフィードバックステージ FS-1040SPX/XY

【精密位置決め装置】リニアエンコーダを内蔵し、5nm分解能で動作する位置決めステージ

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。

『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。

自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路によりフルクローズドループ制御を行っているため、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。

(*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み合わせ

基本情報5nmフィードバックステージ FS-1040SPX/XY

最小分解能:5nm
最大移動速度:5mm/sec(FC-611使用時)
ストローク:40mm
テーブルサイズ:□80mm
対応コントローラ:FC-611


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価格情報 -
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型番・ブランド名 FS-1040SPX / FS-1040SPXY
用途/実績例 フィードバックステージシステムは近年様々な分野で使用されています。

代表的な使用分野は情報通信関連・光関連・半導体関連・バイオ関連などになります。

例)MEMSの検査時の位置決め
  光学系のディレイステージ
  顕微鏡ステージ

カタログ5nmフィードバックステージ FS-1040SPX/XY

取扱企業5nmフィードバックステージ FS-1040SPX/XY

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シグマ光機株式会社

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