【精密位置決め装置】リニアエンコーダを内蔵し、5nm分解能で動作する位置決めステージ
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。
『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。
自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路によりフルクローズドループ制御を行っているため、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。
(*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み合わせ
基本情報5nmフィードバックステージ FS-1040SPX/XY
最小分解能：5nm
最大移動速度：5mm/sec（FC-611使用時）
ストローク：40mm
テーブルサイズ：□80mm
対応コントローラ：FC-611
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| 価格情報 | - |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | FS-1040SPX / FS-1040SPXY |
| 用途／実績例 | フィードバックステージシステムは近年様々な分野で使用されています。 代表的な使用分野は情報通信関連・光関連・半導体関連・バイオ関連などになります。 例）MEMSの検査時の位置決め 光学系のディレイステージ 顕微鏡ステージ |
カタログ5nmフィードバックステージ FS-1040SPX/XY
取扱企業5nmフィードバックステージ FS-1040SPX/XY
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■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
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