『DP-Fノンメタルシリーズ』DP-Fi/□/Rシリーズヤマダコーポレーション

半導体産業用ダイヤフラムポンプ

DP-Fノンメタルシリーズ：半導体産業用　エア切替　
ノンメタル　DP-Fi/□/Rシリーズ

【特徴】

■特殊ラバーサスシールの反発を利用して樹脂の温度変化等による
タイロッドの緩みを軽減し、ワンピースダイアフラム・樹脂センターロッドなど
ノンメタル化を実現しました。さらに液剤出入り口をインサイドにすることで
マニフォールドが必要なくなり、その分コンパクトになり薬液供給システムや
薬液循環装置に好適

■バルブやシート、切替部などケーシングを分解せずに
消耗品の取替えができる
※CMPスラリーには使用できません。

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関連リンク - https://www.yamadacorp.co.jp/showroom/

基本情報『DP-Fノンメタルシリーズ』DP-Fi/□/Rシリーズ

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型番・ブランド名	DP-Fi/□/Rシリーズ
用途／実績例	※詳細は、お問い合わせ下さい。

カタログ『DP-Fノンメタルシリーズ』DP-Fi/□/Rシリーズ

株式会社ヤマダコーポレーション『会社案内』

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取扱企業『DP-Fノンメタルシリーズ』DP-Fi/□/Rシリーズ

株式会社ヤマダコーポレーション

●空圧式、油圧式、電気駆動、その他の各種ポンプ及びこれらの関連機器類の製造、販売（ダイアフラムポンプ・ピストンポンプ等） ●気体、流体、粉体、粒体等の汲み出し、圧送、噴霧、吸引用各種ポンプ及びこれらの関連機器類の製造、販売 ●計量器及び電気式計測機器の製造、販売 ●各種洗浄機器の製造、販売 ●流体素子、流体式制御機器の製造、販売 ●自動車整備用機器及び排気・排煙浄化装置の製造、輸入並びに販売 ●医療用機器の製造、輸入並びに販売 ●前各号にかかわる機器類の据付、保守及び構築物の設計、施工の請負 ●前各号に付帯又は関連する一切の業務及び投資 etc