開口幅400mm～2000mm！第六世代、第七世代基板に対応したゲートバルブを標準化！
FPD製造装置におけるガラス基板の大型化に対し、IKCは半導体製造装置、
真空機器などで培った技術と独自の技術開発により、これに応える
大型のゲートバルブを開発しました。
FPD製造装置向けとして各世代の基板サイズに対応したバルブをシリーズ化
しましたので紹介致します。
【ラインアップ】
■KOSLARZE-II：昇降用シリンダとカムによって構成
■NEW KOSLARZE：昇降用シリンダとシール用シリンダで構成
■LINK：昇降用シリンダと弁板に組み込まれたリンク機構によって構成
■SWELL GARIVA：昇降用シリンダと弁板内部に搭載されている
シール用シリンダによって構成
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報コスラーズゲートバルブ
【特長】
■パーティクルフリー
■高いレベルのシール性
■イージーメンテナンス
■長寿命で高品質
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログコスラーズゲートバルブ
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