入江工研株式会社
最終更新日：2020-10-09 15:30:01.0
角型ゲートバルブ（コスラーズ）
基本情報角型ゲートバルブ（コスラーズ）
角型ゲートバルブ（コスラーズ）
次世代のＬＳＩ及びＬＣＤの製造装置にも使用可能な高品質の角型ゲートバルブです。
高集積度素子、化合物半導体、光素子等最近のプロセスラインでは高レベルでの無塵化が厳しく要求されております。
コスラーズゲートバルブ
FPD製造装置におけるガラス基板の大型化に対し、IKCは半導体製造装置、
真空機器などで培った技術と独自の技術開発により、これに応える
大型のゲートバルブを開発しました。
FPD製造装置向けとして各世代の基板サイズに対応したバルブをシリーズ化
しましたので紹介致します。
【ラインアップ】
■KOSLARZE-II：昇降用シリンダとカムによって構成
■NEW KOSLARZE：昇降用シリンダとシール用シリンダで構成
■LINK：昇降用シリンダと弁板に組み込まれたリンク機構によって構成
■SWELL GARIVA：昇降用シリンダと弁板内部に搭載されている
シール用シリンダによって構成
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