一般財団法人材料科学技術振興財団 MST [XRD]X線回折法
- 最終更新日:2023-03-27 16:47:49.0
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基本情報[XRD]X線回折法
XRDの評価対象である『結晶』とは、物質を構成する原子あるいは分子・イオンの集団が3次元的に繰り返し配列した状態のことです。X線を結晶に照射すると、結晶中の電子によりX線が散乱されます(散乱X線)。散乱X線は干渉し合い、ブラッグの法則を満たしたときに強い回折X線が生じます。
格子面間隔をd、 X線の入射角をθとした場合、第1面と第2面の行路差(-)は 2d sinθ となります。行路差が入射X線の波長λの整数倍の時に散乱X線が強め合い、ブラッグの法則が成り立ちます。
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用途/実績例 | ・ポリSi・金属膜・有機膜の結晶性・配向性評価 ・ポリSi・金属膜の結晶子サイズ測定 ・high-k膜・Niシリサイド(NiSi)・Tiシリサイド(TiSi)の結晶構造解析 ・リチウムイオン二次電池電極材料の劣化評価 |
詳細情報[XRD]X線回折法
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取扱企業[XRD]X線回折法
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