一般財団法人材料科学技術振興財団 MST ［XRR］X線反射率法
- 最終更新日：2023-03-27 16:06:08.0
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基本情報［XRR］X線反射率法
「臨界角（θc）」とは、屈折率が大きいところから小さいところに光が向かうとき、全反射が起きる最も小さな入射角のことです。
試料にX線を極浅い角度で入射させると、入射角 が臨界角より小さいときは入射したX線はすべて反射（全反射）されます。入射角を徐々に大きくしていき、入射角が臨界角より大きくなると、X線が薄膜中に侵入し、反射X線の強度が小さくなります。
さらに入射角を大きくしていくと、薄膜表面で反射したX線と各界面で反射したX線が互いに干渉し、振動プロファイルが観測されます。このようにして得られた反射率の振動プロファイルは、その物質の d：膜厚、ρ：密度、σ：ラフネスに応じた特有のプロファイルとなります。
膜構造を仮定してシミュレーションを行い、実測値とシミュレーション結果が合うように各パラメータの最適化を行うことで、膜厚・密度・ラフネスの評価を行います。
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ・薄膜の膜密度評価・膜厚評価 （Si酸化膜・Low-k膜・磁性材料・金属膜・有機EL・非晶質膜などの膜密度・膜厚評価） ・積層膜の膜密度評価 ・界面層の密度評価・膜厚評価 |
詳細情報［XRR］X線反射率法
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