白色干渉計測法一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

非接触・非破壊で3次元測定可能

白色干渉計測法は、高輝度白色光源を用いて試料表面を「広視野・高垂直分解能・広ダイナミックレンジ」で非接触（非破壊）三次元測定が可能な装置です。

・高輝度白色光源を用いた表面形状測定装置
・非接触・非破壊で三次元測定が可能
・広い視野（50μm×70μm ～ 5mm× 7mm）
・高垂直分解能（0.1nm）
・広いダイナミックレンジ（＜150μm）

基本情報白色干渉計測法

走査型白色干渉計は高輝度白色光源を用いて試料表面を「広視野・高垂直分解能・広ダイナミックレンジ」で非接触（非破壊）3次元測定可能な手法です。

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用途／実績例	・半導体など　ウエハなどの研磨面・蒸着膜表面の粗さ　欠陥・異常部の観察　加工形状観察（パターン・ホール・トレンチ・ベベル・MEMS）・金属　ボールベアリング・ボンディング（ハンダ）表面形状　ギア・カッター・鋼板のキズ・破断面・金型の形状　めっき表面の粗さ・摩擦面の観察・その他の素材　切断面の観察　ガラス・光学部品・電気部品の形状観察

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詳細情報白色干渉計測法

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取扱企業白色干渉計測法

一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

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