一般財団法人材料科学技術振興財団 MST 白色干渉計測法

非接触・非破壊で3次元測定可能

白色干渉計測法は、高輝度白色光源を用いて試料表面を「広視野・高垂直分解能・広ダイナミックレンジ」で非接触(非破壊)三次元測定が可能な装置です。

・高輝度白色光源を用いた表面形状測定装置
・非接触・非破壊で三次元測定が可能
・広い視野(50μm×70μm ~ 5mm× 7mm)
・高垂直分解能(0.1nm)
・広いダイナミックレンジ(<150μm)

基本情報白色干渉計測法

走査型白色干渉計は高輝度白色光源を用いて試料表面を「広視野・高垂直分解能・広ダイナミックレンジ」で非接触(非破壊)3次元測定可能な手法です。

価格情報 -
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用途/実績例 ・半導体など
 ウエハなどの研磨面・蒸着膜表面の粗さ
 欠陥・異常部の観察
 加工形状観察(パターン・ホール・トレンチ・ベベル・MEMS)
・金属
 ボールベアリング・ボンディング(ハンダ)表面形状
 ギア・カッター・鋼板のキズ・破断面・金型の形状
 めっき表面の粗さ・摩擦面の観察
・その他の素材
 切断面の観察
 ガラス・光学部品・電気部品の形状観察

詳細情報白色干渉計測法

まずはご相談ください
★分析プランのご提案から行います★
御社へ伺ってのお打ち合わせも、もちろん可能。
分析結果のご説明も丁寧に行い、疑問を残しません。
まずは03-3749-2525またはinfo@mst.or.jpまでご連絡ください!

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お客様のご要望に応じて、分析技術のご紹介や分析データのご説明をいたします。

◆セミナー内容例
・MSTの分析手法を広く解説
・特定の分析手法を原理からじっくり、詳しく解説
・お客様がご依頼の分析データを解説

03-3749-2525またはinfo@mst.or.jpまでご連絡ください!

取扱企業白色干渉計測法

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一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

受託分析サービスで、研究開発を行う皆様をサポートします! 半導体・金属・電池などのエレクトロニクス材料や、医薬品・化粧品・食品・環境などのライフサイエンス分野に幅広く対応。 SIMS・TEM・XRD・ICP-MS・GC/MS・AES・SEM・EPMA・EELSなど、さまざまな分析装置を保有し、分析ニーズに応えます。 まずはご相談下さい。 ◆事業領域◆ 1. 科学技術分野における材料に関する基礎的研究及び解析・評価。 2. 半導体、生理学生化学、バイオ関連分野及び各種先端的分野についての基礎的研究及び解析・評価。 3. 1、2号に掲げる国内外における関連分野の研究機関又は個人に対する表彰及び支援。 4. 1、2号に掲げる研究成果等の出版または出版の支援。 5. 1、2号に掲げる国内外における関連分野の調査。 6. 1、2号に掲げる国内外における関連分野に関する研修の実施及び支援または研修所の運営。 7. その他目的を達成するために必要な事業。

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