［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

電子線照射により発生する特性X線を検出し、エネルギーで分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です

EDXは、電子線照射により発生する特性X線を検出し、エネルギーで分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です。EDS：Energy Dispersive X-ray Spectroscopyとも呼ばれます。
多くの場合、SEMまたはTEMに付属しており、本資料ではSEM付属のEDXについて解説します。

・測定範囲の全エネルギー（B～U）が同時に短時間で測定可能
・検出効率に優れているので、少ないプローブ電流で測定が可能
・特殊な試料を除き、前処理不要で手軽に分析を行える
・未知試料の分析に適している
・クライオホルダーを用いることで凍結・冷却した状態で測定可能

基本情報［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）

EDXは電子線照射により発生する特性X線をエネルギーで分光し、検出します。特定X線のエネルギーは元素固有なので、試料を構成する元素の同定が行えます。また、強度から組成に関する情報が得られます。

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用途／実績例	・異物の組成分析・面分析による元素分布の可視化・面分析によるマイグレーションの可視化・定性分析から更に半定量分析・層構造の同定・異常層、残渣の成分特定

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詳細情報［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）

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取扱企業［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）

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