［SIM］走査イオン顕微鏡法一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

高分解能（加速電圧30kV：4nm）でのSIM像観察が可能

・高分解能（加速電圧30kV：4nm）でのSIM像観察が可能
・SEM像に比べてSIM像の方が極表面層の情報が得られる
・金属結晶粒観察が可能（Al, Cu等)
・分解能はSEM像より劣る（SIM：4nm, SEM：0.5nm）

■MST所有装置の特徴
・試料サイズ最大直径300mmφのJEIDA規格ウエハ対応が可能
・FIB（集束イオンビーム）加工との組み合わせで連続的な断面SIM像の取得が可能（Slice&View）

基本情報［SIM］走査イオン顕微鏡法

固体試料にイオンビームを照射すると二次電子が発生します。二次電子は各結晶粒の結晶方位に応じたコントラストを生じます。この像を走査イオン顕微鏡（Scanning Ion Microscope： SIM）像といいます。
電子線照射によってもこのようなコントラスト像が得られますが、イオンビームの方が顕著に現れます。
金属多結晶のSIM像を観察することで結晶粒の大きさや分布に関する知見を得ることが可能です。

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用途／実績例	・通電経路の可視化断面観察（導電性コントラスト）・Al, Cu, Feなどの結晶粒観察（チャネリング像）・多角傾斜による結晶粒径解析

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詳細情報［SIM］走査イオン顕微鏡法

: まずはご相談ください
★分析プランのご提案から行います★
御社へ伺ってのお打ち合わせも、もちろん可能。
分析結果のご説明も丁寧に行い、疑問を残しません。
まずは03-3749-2525またはinfo@mst.or.jpまでご連絡ください！

: 訪問セミナー実施します
★お客様のニーズに合わせた技術者訪問のセミナーを無料で承っております★
お客様のご要望に応じて、分析技術のご紹介や分析データのご説明をいたします。

◆セミナー内容例
・MSTの分析手法を広く解説
・特定の分析手法を原理からじっくり、詳しく解説
・お客様がご依頼の分析データを解説

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取扱企業［SIM］走査イオン顕微鏡法

一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

受託分析サービスで、研究開発を行う皆様をサポートします！半導体・金属・電池などのエレクトロニクス材料や、医薬品・化粧品・食品・環境などのライフサイエンス分野に幅広く対応。 SIMS・TEM・XRD・ICP-MS・GC/MS・AES・SEM・EPMA・EELSなど、さまざまな分析装置を保有し、分析ニーズに応えます。まずはご相談下さい。 ◆事業領域◆ 1. 科学技術分野における材料に関する基礎的研究及び解析・評価。 2. 半導体、生理学生化学、バイオ関連分野及び各種先端的分野についての基礎的研究及び解析・評価。 3. １、２号に掲げる国内外における関連分野の研究機関又は個人に対する表彰及び支援。 4. １、２号に掲げる研究成果等の出版または出版の支援。 5. １、２号に掲げる国内外における関連分野の調査。 6. １、２号に掲げる国内外における関連分野に関する研修の実施及び支援または研修所の運営。 7. その他目的を達成するために必要な事業。