液体用マスフローコントローラ　LC-3000L series リンテック

当社独自センサにより各種液体流量を精密制御します

ノーマリオープンタイプの液体用マスフローコントローラです。
0.01〜2.0g/min (C2H5OH換算) の流量制御が可能です。液体は、ステンレスを腐食しないものであれば何でもOKです。

【特長】
○リンテック独自の周囲温度補償方式の流量センサによる長期流量安定
○ボディ面幅28.6mm、バルブ一体型構造のコンパクト設計
○汎用デジタルインターフェイスを装備（RS-485準拠）
○ピエゾアクチュエータ採用による高速応答
○ダイアフラムバルブ構造を採用
　（デッドスペース極小、気泡が発生しにくい構造）
○バイパスレス構造
　（液体導入、内部パージが容易、取付姿勢自由）
○RoHS対応

※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

関連リンク - http://www.lintec-mfc.co.jp/

基本情報液体用マスフローコントローラ　LC-3000L series

○リンテック独自の周囲温度補償方式の
　流量センサによる長期流量安定
○ボディ面幅28.6mm、バルブ一体型構造のコンパクト設計
○汎用デジタルインターフェイスを装備（RS-485準拠）
○ピエゾアクチュエータ採用による高速応答
○ダイアフラムバルブ構造を採用
　（デッドスペース極小、気泡が発生しにくい構造）
○バイパスレス構造
　（液体導入、内部パージが容易、取付姿勢自由）
○RoHS対応

価格帯	10万円 ~ 50万円
納期	~ 1ヶ月
型番・ブランド名	LC-3000L
用途／実績例	半導体・液晶・太陽電池・電子部品メーカーやその装置メーカーなどに幅広く納入されています。