株式会社リンテック 減圧・常圧プロセス用高効率気化器 VU-430A series

減圧・常圧プロセス用高効率気化器 VU-430A

液体マスフローメータLM-3000Lシリーズとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です(US PAT.5372754)。

【特長】
○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、
  各種液体を流量制御し、効率よく気化(US PAT.5372754)
○減圧プロセスから常圧プロセスまで可能
○最高200℃の高温加熱が可能
○コンパクトなボディサイズ
○キャリアガスの流量に応じた豊富なバリエーション(50CCM-4SLM)
○RoHS対応

※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

基本情報減圧・常圧プロセス用高効率気化器 VU-430A series

○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、
  各種液体を流量制御し、効率よく気化(US PAT.5372754)
○減圧プロセスから常圧プロセスまで可能
○最高200℃の高温加熱が可能
○コンパクトなボディサイズ
○キャリアガスの流量に応じた豊富なバリエーション(50CCM-4SLM)
○RoHS対応

価格帯 50万円 ~ 100万円
納期 ~ 1ヶ月
型番・ブランド名 VU-430A
用途/実績例 半導体・液晶・太陽電池・電子部品メーカーやその装置メーカーなどに幅広く納入されています。
SiO2やTiO2、H2Oその他、各種成膜用途に減圧常圧問わず、幅広く使用されております。

カタログ減圧・常圧プロセス用高効率気化器 VU-430A series

取扱企業減圧・常圧プロセス用高効率気化器 VU-430A series

クリーンルーム.jpg

株式会社リンテック 東京営業所

気体用、液体用質量流量計(マスフローコントローラ)の製造販売 マスフローコントローラを応用した気体、液体制御系の設計、製作

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