減圧・常圧プロセス用高効率気化器 VU-430A
液体マスフローメータLM-3000Lシリーズとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です（US PAT.5372754）。
【特長】
○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、
各種液体を流量制御し、効率よく気化（US PAT.5372754）
○減圧プロセスから常圧プロセスまで可能
○最高200℃の高温加熱が可能
○コンパクトなボディサイズ
○キャリアガスの流量に応じた豊富なバリエーション（50CCM-4SLM)
○RoHS対応
※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
基本情報減圧・常圧プロセス用高効率気化器 VU-430A series
○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、
各種液体を流量制御し、効率よく気化（US PAT.5372754）
○減圧プロセスから常圧プロセスまで可能
○最高200℃の高温加熱が可能
○コンパクトなボディサイズ
○キャリアガスの流量に応じた豊富なバリエーション（50CCM-4SLM)
○RoHS対応
| 価格帯 | 50万円 ~ 100万円 |
|---|---|
| 納期 | ~ 1ヶ月 |
| 型番・ブランド名 | VU-430A |
| 用途／実績例 | 半導体・液晶・太陽電池・電子部品メーカーやその装置メーカーなどに幅広く納入されています。 SiO2やTiO2、H2Oその他、各種成膜用途に減圧常圧問わず、幅広く使用されております。 |
カタログ減圧・常圧プロセス用高効率気化器 VU-430A series
取扱企業減圧・常圧プロセス用高効率気化器 VU-430A series
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気体用、液体用質量流量計(マスフローコントローラ)の製造販売 マスフローコントローラを応用した気体、液体制御系の設計、製作
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