気化器の器壁に液体が接触する機会を減少し、効率よく気化が可能です
High-kや各種メタルなど、熱分解しやすい液体気化に適した気化器です
【特長】
○液体を気化器の器壁（金属製）に接触する機会が少なく、
（軽接触）効率よく気化
○アトマイザによる液滴化とブローガスによる微細化による
高効率気化
○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、
液体材料を精密流量制御し、効率良く気化（US PAT.5372754）
○熱分解し易い液体を低温にて気化する方式の気化器
※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
基本情報軽接触式気化器 VU-900 series
○液体を気化器の器壁（金属製）に接触する機会が少なく、
（軽接触）効率よく気化
○アトマイザによる液滴化とブローガスによる微細化による
高効率気化
○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、
液体材料を精密流量制御し、効率良く気化（US PAT.5372754）
○熱分解し易い液体を低温にて気化する方式の気化器
| 価格帯 | 100万円 ~ 500万円 |
|---|---|
| 納期 | ~ 1ヶ月 |
| 型番・ブランド名 | VU-900 |
| 用途／実績例 | 【用途】 ○半導体製造プロセス用の各種液体の気化供給 ○CVD,酸化・拡散用途 |
カタログ軽接触式気化器 VU-900 series
取扱企業軽接触式気化器 VU-900 series
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気体用、液体用質量流量計(マスフローコントローラ)の製造販売 マスフローコントローラを応用した気体、液体制御系の設計、製作
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