風量が、10、20、30㎥/minの3タイプがあり、半導体・精密・液晶、その他産業用製造装置の局所（スポット）に精
オプションとして
◆吐出口増設（ダクト接続用単管４ヶ所まで増設可、ダンパー付き）
◆リターンダクト接続用単管増設
◆空冷式冷凍機（屋外設置型）…冷媒配管工事・電気工事が必要（設置場所により見積り）
基本情報サーマルパーティクリーン
●時代は今、特定パートのクリーン化に大きく動いています。
●半導体・精密・液晶、その他産業用製造装置の局所（スポット）に精密温度クリーンエアを供給します。
●風量は、10/20/30ｍ3/minを用意しています。
●兄弟機種として高精度湿度制御ドライエアタイプも用意しています。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | ~ 1ヶ月 |
| 型番・ブランド名 | サーマルパーティクリーン SCP-１０、SCP－２０、SCP－３０ |
| 用途／実績例 | スパッタ装置・三次元測定器・各種ディスク（CD-R・DVD-R・DVD-RW・DVD-RAM）のコーティングおよび張り合せ装置・バイオ／医薬品の研究開発装置・低湿印刷工程 |
