減圧・常圧プロセス用高効率気化器　VU-450 液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です（US PAT.5372754）。 【特長】 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 　 各種液体を精密流量制御し、効率よく気化（US PAT.5372754） ○常圧条件下で水の気化供給が可能 ○最高200℃の加熱が可能 ○コンパクトなボディサイズ ○キャリアガスの流量に応じた豊富なバリエーション 　 （1SLM〜100SLM） ○RoHS対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

気体、液体、圧力制御が可能な高速応答ピエゾコントロールバルブです ビエゾコントロールバルブCV-3000シリーズは、外部からの制御入力により気体、液体の流量制御、あるいは圧力制御などが可能な高速応答バルブです。 制御方法として、オーブンループ式ならびにクローズドループ式が使用できます。 【特長】 ○積層圧電素子を用いたバルブの為、高速制御可能 ○高推力、高分解能バルブの為、微小流量、低圧力の精密制御可能 ○気体ならびに液体の流量制御および圧力制御可能 ○接続部は、金（Au）製メタルシールを採用しているので、 　 実質的にリークフリー ○パーティクルフリーの材質、構造設計 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。