気体、液体、圧力制御が可能な高速応答ピエゾコントロールバルブです
ビエゾコントロールバルブCV-3000シリーズは、外部からの制御入力により気体、液体の流量制御、あるいは圧力制御などが可能な高速応答バルブです。
制御方法として、オーブンループ式ならびにクローズドループ式が使用できます。
【特長】
○積層圧電素子を用いたバルブの為、高速制御可能
○高推力、高分解能バルブの為、微小流量、低圧力の精密制御可能
○気体ならびに液体の流量制御および圧力制御可能
○接続部は、金（Au）製メタルシールを採用しているので、
実質的にリークフリー
○パーティクルフリーの材質、構造設計
※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
基本情報ピエゾコントロールバルブ CV-3000 series
○積層圧電素子を用いたバルブの為、高速制御可能
○高推力、高分解能バルブの為、微小流量、低圧力の精密制御可能
○気体ならびに液体の流量制御および圧力制御可能
○接続部は、金（Au）製メタルシールを採用しているので、
実質的にリークフリー
○パーティクルフリーの材質、構造設計
| 価格帯 | 10万円 ~ 50万円 |
|---|---|
| 納期 | ~ 1ヶ月 |
| 型番・ブランド名 | CV-3000 |
| 用途／実績例 | 【用途】 ○オープンループ制御/外部からの電圧により、バルブの開度を調節 （流量の精密制御は困難） ○クローズドループ制御/マスフローメータと市販のPID制御器との 接続により、任意の流量に制御可能 |
カタログピエゾコントロールバルブ CV-3000 series
取扱企業ピエゾコントロールバルブ CV-3000 series
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気体用、液体用質量流量計(マスフローコントローラ)の製造販売 マスフローコントローラを応用した気体、液体制御系の設計、製作
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