多彩な機能を持った高性能デジタルマスフローメータです マイクロプロセッサ内蔵の高機能デジタルマスフローメータです。 【特長】 ○高分解能（16ビット）A/D、D/Aコンバーターの採用による高精度化 ○アラーム出力機能を標準装備 ○アラーム状態表示ＬＥＤを装備 ○オートゼロ機能装備 ○汎用デジタルインターフェースを装備 ○デバイス番号の設定が可能 ○従来品との電気的互換性を保持 ○コンパクトなボディサイズ ○メタルシールを採用 ○ボディ内部精密研磨を標準装備 ○各種ガスの流量測定 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

各種液体流量を精密計測します 0.01〜20g/min (C2H5OH換算) の計測が可能です。液体は、ステンレスを腐食しないものであれば何でもOKです。コントロールバルブ（当社CVシリーズ）と接続する事により、液体マスフローコントローラとしても使用可能です。 【特長】 ○各種液体材料の高精度流量計測を実現 ○リンテック社独自の熱式マスフローセンサ（特許出願中）採用、 　 電子回路はデジタル化され、高速、高精度の流量計測が可能 ○コントロールバルブとの組合せにより、高精度の流量制御が可能 ○リンテック社独自の気化器との組合せにより、 　　高速、高精度の液体気化供給が可能 ○RoHS指令準拠 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

当社独自の自己温度補正方式（米国、日本特許）のセンサを採用した高性能デジタルマスフローコントローラです 独自の特許技術で1.0％S.P.の高精度を実現し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデジタルマスフローコントローラです。 【特長】 ○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ 　 (ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証）、デジタル制御） ○アナログマスフローコントローラとの互換性を維持 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○SEMI STD.の各種面実装に対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

必要な測定をこれ一台で！高速応答、低圧力損失、複数のガス校正が可能な気体用オールインワン流量計。 TSI社製「気体用多機能質量流量計　MASS FLOW MULTI-METER」は 高速応答、低圧力損失、複数のガス校正が可能なオールインワン熱式質量流量計です。 双方向フローセンシング、カラータッチスクリーンディスプレイ、 交換可能なチューブアダプタやコンパニオンＰＣソフトウェア等組み込まれており、 医療機器の製造サービスや様々な製品の製造・開発に好適です。 【特長】 ■複数の要素を１台で測定可能なガス用熱式質量流量計 ■４m/sの双方向フロー対応 ■４つの測定パラメーターを同時に表示 ■校正可能なガスは空気・O2・CO2・N2（ユーザー選択可能） ■独自のアプリケーションにフィット ■使いやすいタッチスクリーンディスプレイ ■データロガー内蔵 ■10点でのNISTトレーサブル校正証明書付き ■ソフトウェアと連動 ※詳しくは、弊社WEBサイトをご覧ください。