当社独自の自己温度補正方式（米国、日本特許）のセンサを採用した高性能デジタルマスフローコントローラです
独自の特許技術で1.0％S.P.の高精度を実現し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデジタルマスフローコントローラです。
【特長】
○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ
(ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証）、デジタル制御）
○アナログマスフローコントローラとの互換性を維持
○汎用インターフェースRS485が使用可能
○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様
○SEMI STD.の各種面実装に対応
※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
基本情報高性能マスフローコントローラ MC-3000L series
○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ
(ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証）、デジタル制御）
○アナログマスフローコントローラとの互換性を維持
○汎用インターフェースRS485が使用可能
○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様
○SEMI STD.の各種面実装に対応
| 価格帯 | 10万円 ~ 50万円 |
|---|---|
| 納期 | ~ 1ヶ月 |
| 型番・ブランド名 | MC-3000L |
| 用途／実績例 | 半導体・液晶・太陽電池・電子部品メーカーやその装置メーカーなどに幅広く納入されています。 |
カタログ高性能マスフローコントローラ MC-3000L series
取扱企業高性能マスフローコントローラ MC-3000L series
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気体用、液体用質量流量計(マスフローコントローラ)の製造販売 マスフローコントローラを応用した気体、液体制御系の設計、製作
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