高性能マスフローコントローラ　MC-3000L series リンテック

当社独自の自己温度補正方式（米国、日本特許）のセンサを採用した高性能デジタルマスフローコントローラです

独自の特許技術で1.0％S.P.の高精度を実現し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデジタルマスフローコントローラです。

【特長】
○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ
　 (ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証）、デジタル制御）
○アナログマスフローコントローラとの互換性を維持
○汎用インターフェースRS485が使用可能
○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様
○SEMI STD.の各種面実装に対応

※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

関連リンク - http://www.lintec-mfc.co.jp/

基本情報高性能マスフローコントローラ　MC-3000L series

○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ
　 (ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証）、デジタル制御）
○アナログマスフローコントローラとの互換性を維持
○汎用インターフェースRS485が使用可能
○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様
○SEMI STD.の各種面実装に対応

価格帯	10万円 ~ 50万円
納期	~ 1ヶ月
型番・ブランド名	MC-3000L
用途／実績例	半導体・液晶・太陽電池・電子部品メーカーやその装置メーカーなどに幅広く納入されています。