多彩な機能を持った高性能デジタルマスフローメータです マイクロプロセッサ内蔵の高機能デジタルマスフローメータです。 【特長】 ○高分解能（16ビット）A/D、D/Aコンバーターの採用による高精度化 ○アラーム出力機能を標準装備 ○アラーム状態表示ＬＥＤを装備 ○オートゼロ機能装備 ○汎用デジタルインターフェースを装備 ○デバイス番号の設定が可能 ○従来品との電気的互換性を保持 ○コンパクトなボディサイズ ○メタルシールを採用 ○ボディ内部精密研磨を標準装備 ○各種ガスの流量測定 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

ダイレクトサーマルマスフロー計測原理を応用した質量流量計 MASS-VIEW流量計は通常の面積式流量計、ロータメータのデジタル式代替器です。 OELD技術を取り入れ、実ガス流量をデジタルバーグラフで表示する手法を採用。これによりあらゆる角度からはっきり観ることが可能です。 又、流量単位、ガスタイプ、積算値も表示されます。 フローコントローラは圧力補正用メンブレンを搭載し、供給圧力変動の影響を低減することができます。 【NEW!】 新たに最大流量500 slmのMASS-VIEW MV-108/MV-308が登場しました。 【特徴】 ○明瞭で、ワイドアングルなOLED表示 ○視差による読み取り誤差無し ○実質的に圧力、温度変化の影響なし ○低圧損、高速応答、高精度 ○ワイドフローレンジ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

分析装置や各種成膜装置向けに開発した、低価格でありながら基本性能を備えたマスフローコントローラ。半導体製造コストの改善に貢献。 気体用マスフローコントローラ　MC-10シリーズは、短納期対応により、半導体製造コストの改善に貢献しうる低価格なモデルです。 ソレノイドアクチュエータやラバーシールを採用することで低価格を実現しました。 【特長】 ○ラバーシール採用により低価格での提供を実現 ○流量精度は±1.0%F.S.を保証 ○幅広い流量レンジに対応 ○オプションのバリアブルレンジ機能により、1台で複数の仕様に対応可能 　（ガス種、F.S.、流量を変更可能） ○金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作 ※その他機能や詳細については、PDFをダウンロード下さい。