低価格マスフローコントローラ　MC-10RC series リンテック

分析装置や各種成膜装置向けに開発した、低価格でありながら基本性能を備えたマスフローコントローラ。半導体製造コストの改善に貢献。

気体用マスフローコントローラ　MC-10シリーズは、短納期対応により、半導体製造コストの改善に貢献しうる低価格なモデルです。
ソレノイドアクチュエータやラバーシールを採用することで低価格を実現しました。

【特長】
○ラバーシール採用により低価格での提供を実現
○流量精度は±1.0%F.S.を保証
○幅広い流量レンジに対応
○オプションのバリアブルレンジ機能により、1台で複数の仕様に対応可能
　（ガス種、F.S.、流量を変更可能）
○金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作

※その他機能や詳細については、PDFをダウンロード下さい。

関連リンク - http://www.lintec-mfc.co.jp/

基本情報低価格マスフローコントローラ　MC-10RC series

○RoHS対応
○高速応答 1sec以内
○短納期対応モデル
○高精度（±1％F.S.）モデル
○ラバーシール採用の低コストモデル
○RS-485デジタル通信やマルチレンジ機能を搭載（オプション）

価格情報	-
価格帯	1万円 ~ 10万円
納期	~ 1週間
型番・ブランド名	MC-10RC series
用途／実績例	半導体・液晶・太陽電池・電子部品メーカーやその装置メーカーなどに幅広く納入されています。