減圧・常圧プロセス用高効率気化器　VU-450 液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です（US PAT.5372754）。 【特長】 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 　 各種液体を精密流量制御し、効率よく気化（US PAT.5372754） ○常圧条件下で水の気化供給が可能 ○最高200℃の加熱が可能 ○コンパクトなボディサイズ ○キャリアガスの流量に応じた豊富なバリエーション 　 （1SLM〜100SLM） ○RoHS対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

センサ・変換器が一体型で超コンパクト！IP67準拠でノイズに強く、故障も防止 EGE社の『フロースイッチ SC440シリーズ』は、 センサ・変換器一体型で、コンパクトな熱線式フロースイッチです。 オールSUSハウジングでノイズに強く、故障しにくいほか、 流量も自由に調整できるため、誰でも手軽に使えます。 【特長】 ■保護等級 IP67 ■流量の見やすいLED表示 ■10MPaの耐圧 ■使用温度範囲は－20～＋80℃ ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

世界中で活躍する優れた「流量計」「フロースイッチ」をハイテックがご紹介致します。 新製品を含む主要ラインアップを掲載しています。 高性能・高品質な物を厳選し、アフターフォローも万全です。 日本でも様々な現場で数多くの納入実績があり、幅広い分野でご愛用頂いております。

分析装置や各種成膜装置向けに開発した、低価格でありながら基本性能を備えたマスフローコントローラ。半導体製造コストの改善に貢献。 気体用マスフローコントローラ　MC-10シリーズは、短納期対応により、半導体製造コストの改善に貢献しうる低価格なモデルです。 ソレノイドアクチュエータやラバーシールを採用することで低価格を実現しました。 【特長】 ○ラバーシール採用により低価格での提供を実現 ○流量精度は±1.0%F.S.を保証 ○幅広い流量レンジに対応 ○オプションのバリアブルレンジ機能により、1台で複数の仕様に対応可能 　（ガス種、F.S.、流量を変更可能） ○金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作 ※その他機能や詳細については、PDFをダウンロード下さい。