薄膜、コーティング、表面処理は、幅広い産業とアプリケーションをカバーしています！ 産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。 化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製造工程の最終段階として行われることが多いようです。 ブルックスインスツルメントのマスフロー、真空、圧力測定および制御装置は、PVDおよびCVDプロセスアプリケーションをカバーしています。また、当社の製品は、熱処理やプラズマ処理プロセスなどの表面処理アプリケーションにも適しています。 【特長】 ■再現性の高い、高精度なガス供給 ■優れた品質、正確な厚み、膜厚の均一性 ■長期にわたる安定したプロセス制御 ■高機能な現場での流量診断とトレンド解析で、プロセスの歩留まりを最大化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。