気体・液体用マスフローコントローラ＜真空・圧力計測と制御＞ ITWジャパン

薄膜、コーティング、表面処理は、幅広い産業とアプリケーションをカバーしています！

産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。

化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製造工程の最終段階として行われることが多いようです。

ブルックスインスツルメントのマスフロー、真空、圧力測定および制御装置は、PVDおよびCVDプロセスアプリケーションをカバーしています。また、当社の製品は、熱処理やプラズマ処理プロセスなどの表面処理アプリケーションにも適しています。

【特長】
■再現性の高い、高精度なガス供給
■優れた品質、正確な厚み、膜厚の均一性
■長期にわたる安定したプロセス制御
■高機能な現場での流量診断とトレンド解析で、プロセスの歩留まりを最大化

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.brooksinstrument.com/ja-jp

基本情報気体・液体用マスフローコントローラ＜真空・圧力計測と制御＞

【ラインアップ】
■気体・液体用マスフローコントローラ
・SLA5800シリーズ IP40-汎用マスフロー
・GF40 シリーズコンパクトマスフロー
・GF100 シリーズ高純度マスフロー
・Quantim コリオリマスフロー
■真空・圧力計測と制御
・XacTorr シリーズキャパシタンスマノメータ
・VersaTorr シリーズピラニ真空トランスデューサ
・SolidSense II プレッシャートランスデューサ
・SLA シリーズプレッシャーコントローラ

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用途／実績例	【用途】 ■太陽電池関連 ■医療機器関連 ■ダイヤモンドライクコーティング ■オプティカルコーティング ■ガラスコーティング ■半導体関連 ■金属コーティング ■建築用コーティング ■食品包装用コーティング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。