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【事例紹介】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタリングシミュレーション
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【事例紹介】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCPプラズマシミュレーション
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【事例紹介】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタシミュレーション
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【事例紹介】Particle-PLUS 円筒型マグネトロン装置のプラズマスパッタリングシミュレーション
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【事例紹介】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタリング(3D計算)シミュレーション
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