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USB簡易型膜厚測定装置
従来の接触式では測定不可能であった300nm〜30μm(100μm)までの光学膜厚を再現性良く測定します。...光を透明または半透明膜に照射し、その光のスペクトル情報から膜厚を算出するので、サンプルを傷付けず、再現性良く測定する方法として注目されています。 光ファイバーでサンプルを照射するので、場所を選ばず、インライン使用も可能になりました。 アクチュエータとの併用で、簡単なマッピング膜厚測定...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社スペクトラ・コープ
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