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腐食性ガスを始めとした反応ガス雰囲気における部材の耐性評価可能!
【取得可能なデータ例(ガス種依存、条件依存など)】 ■基板上への成膜特性 ■基板のエッチング特性 ■金属部材の腐食性 ■樹脂のガス耐性 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 大陽日酸株式会社
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