クラウド型鍵管理システム『CKS-1000』

PR通常の鍵管理機能に加え、鍵の予約機能を追加。また各拠点に設置してある鍵…

鍵管理機「KBS-1000シリーズ」のオプションソフト、 『CKS-1000』はクラウドを使用して鍵管理機を効率的に運用するシステムです。 特定の人が使う鍵は登録者のみ使用が可能で、不特定の人が使う鍵はWEBを通じて予約、使用することができるようになります。 また各拠点に設置してある複数の鍵管理機について、鍵の予約や貸出の状況をパソコンやスマートフォンで確認することが可能になります。 ...

メーカー・取り扱い企業： グローリーテクニカルソリューションズ株式会社 ＡＺ事業部　東京営業グループ

ケミカルフィルタシステム「リソガード12」

ArF液浸露光など、ハイエンド半導体露光装置向けケミカルフィルタシステ…

「リソガード12」は、ArF液浸露光を始めとするハイエンド半導体露光装置向けに開発された、酸性・塩基性・凝縮性有機ガス除去用HEPAフィルタ付高効率ケミカルフィルタシステムです。 キャビネット内にLPSフィルタまたはBSMmaxフィルタ１２枚とHEPAフィルタ６枚を搭載しています。 低濃度環境下においても高い汚染物質除去性能を発揮するため、調清浄環境が要求されるプロセスの実現や光学...

メーカー・取り扱い企業： 日本ドナルドソン株式会社