AMCモニタリング装置『SAM-S』

1台のシステムで最大3種類のガス(NH3、HF、HCI)を監視すること…

Cl)を測定することができます。 【特長】 ■インラインAMC監視システム ■pptレベルでのNH3、HF、HClの測定 ■秒オーダーの応答時間 ■最小限のセットアップ時間 ■クリーンルーム内の複数の場所を監視 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アークステーション